分子泵机组

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商品描述:
  FJ系列分子泵机组是由各性能复合分子泵或涡轮分子泵,前级抽气泵,隔断放气阀,前级管路,断水保护器,分子泵电源,控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

分子泵机组--FJ-110/FJ-700分子泵机组技术性能:

产品型号
FJ-110
FJ-620
FJ-620N
FJ-620C
FJ-700
进气口法兰
DN100LF
DN100CF
DN160LF
DN160CF
DN160LF
DN160CF
DN160LF
DN160CF
DN160LF
DN160CF
抽气速率L/S(对空气)
110
600
600
600
700
压缩比 N2
      H2
109
6×103
109
6×103
109
6×103
109
6×103
109
6×103
极限压强(Pa)
6×10-6
6×10-7
6×10-6
6×10-7
6×10-6
6×10-7
6×10-7
6×10-8
6×10-6
6×10-7
输入电压频率(V/Hz)
220±20/50±1
380±20/50±1
冷却水压力(kg/cm-2
0.5~1
0.5~1
0.5~1
0.5~1
0.5~1
前级泵型号
RVP-6
环境温度
4~40
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